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▲中科院微电子所硅光平台以8英寸CMOS工艺线为支撑，开发成套的硅光工艺模块，建立了硅光设计仿真平台、光电测试平台。

▲2016年12月，平台公开发布首版PDK；2020年12月，发布硅光平台PDK2.0；2022年2月更新至PDK2.1。

▲平台主要工艺模块包括220nm/150nm/70nm无源器件刻蚀工艺、高速调制器和锗探测器的掺杂工艺、介质材料生长工艺、TiN加热器电极工艺、锗材料外延工艺、钨填充孔工艺、硅和锗的欧姆接触及金属层工艺等。

▲平台配置了8-12英寸硅光晶圆自动测试系统，该解决方案基于成熟可靠的12寸探针台和纳米级精密自对准定位组件，搭建起高效且兼容性高的光电混合测试系统。

▲平台还配置了纳米级端面耦合测试系统，针对不同的耦合方式为为客户提供不同的测试解决方案。

▲平台建立了全程可追溯的测试数据库，持续向客户推出各类灵活、可靠、可升级的产品和服务。